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LG디스플레이, 세계 최초 초음파 플로팅 코터 장비 개발

LG디스플레이(대표이사 사장 한상범, 韓相範 / www.lgdisplay.com)가 세계 최초로 초음파를 적용한 디스플레이 장비 개발에 성공, 대면적 디스플레이 생산 경쟁력을 높였다.

LG디스플레이는 디스플레이 제조를 위한 TFT, Color Filter 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각(Photolithography)* 과정을 위해 초음파를 적용, 기판을 부상 반송하며 코팅하는 장비인 ‘초음파 플로팅 코터(Ultrasonic Floating Coater)’를 개발하는 데 성공했다.

이번에 개발된 ‘초음파 플로팅 코터’는 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 부상 반송하는 원리로 작동된다. 단순한 장비 구조로 유지/보수가 용이한 것은 물론 박형 기판을 보다 안전하게 부상할 수 있다는 장점이 있다.

특히 그동안 전량 수입에 의존해 왔던 에어 플로팅 코터(Air Floating Coater)를 대신해 ‘초음파 플로팅 코터’를 8세대 제조 공정에 도입할 경우, 37%의 비용 절감 및 77%의 에너지 절감 효과를 거둘 것으로 기대된다.

LG디스플레이는 지난 2013년 신기술장비 공모제도를 통해 협력사인 케이씨텍의 개발 제안을 접수하고, 양사 공동으로 약 1년 6개월의 연구 개발 및 이후 6개월의 공정 및 성능 평가 등을 거치며 양산성을 확보하였다. 하반기에는 ‘초음파 플로팅 코터’를 도입하여 LCD 생산 경쟁력을 증진할 예정이다.

LG디스플레이 생산 최고책임자(CPO) 정철동 부사장은 “LG디스플레이는 국내 협력사들과 LCD의 장비 및 부품 국산화를 위한 공동기술 개발에 노력해 왔으며, 이번에도 세계 최초로 ‘초음파 플로팅 코터’ 장비를 개발하는 성과를 이뤄냈다”며 “앞으로 협력사와의 상생을 통해 디스플레이 업계 경쟁력 확보에 더욱 노력하겠다”고 밝혔다.

한편, LG디스플레이는 ‘협력사의 경쟁력이 LG디스플레이의 경쟁력’이라는 상생 철학을 바탕으로 협력사의 근본적 경쟁력 강화를 위해 회사 고유의 기술과 노하우를 아낌없이 공유하는 동반성장 활동에 앞장서 왔다. 더불어 디스플레이 생산에 있어서 주요한 핵심 장비를 협력사와 공동으로 국산화하는 등 국내 디스플레이 산업 발전에 기여해 왔다.

 

*사진식각: 디스플레이 제조 시 마스크에 필요한 패턴을 형성하기 위해 빛에 반응하는 감광성 고분자 물질인 PR(Photo Resist)를 얇게 바른 후 원하는 마스크 패턴을 올려놓고 빛을 가해 사진을 인화하는 것과 같은 방법으로 회로를 형성

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